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科氏液體質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述：科氏液體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器

產(chǎn)品型號(hào)：5911D4
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2025-05-28
訪問(wèn) 量：1981

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詳細(xì)介紹

品牌	GRYLLS/格里爾斯	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子/電池

科氏液體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器

科氏液體質(zhì)量流量控制器5911D4主要技術(shù)指標(biāo)

1	量程范圍	（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM 　　（0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM
2	準(zhǔn)確度	±1%F.S ±0.5%F.S
3	線性	±0.5~1.5%F.S
4	重復(fù)精度	±0.2%F.S
5	響應(yīng)時(shí)間	電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
6	工作壓差	0.1~0.5MPa
7	耐壓	3MPa
8	工作環(huán)境溫度	0~70℃
9	數(shù)字量	RS485 MODBUS協(xié)議
10	模擬量	DC 0~5V ，4~20mA 可選
11	供電	DC +15V/24V 可選，流量計(jì)＜400mA，控制器＜600mA
12	電氣連接	DB15
13	漏率	1×10\u001F-8SCCSH

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