當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 質(zhì)量流量控制器 > 氣體質(zhì)量流量控制器 > GRYLLS5900格里爾斯質(zhì)量流量控制器

格里爾斯質(zhì)量流量控制器

簡要描述：格里爾斯質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

產(chǎn)品型號：GRYLLS5900
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-05-28
訪問量：6183

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詳細介紹

品牌	GRYLLS/格里爾斯	價格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	差壓式	介質(zhì)分類	氣體
產(chǎn)地類別	進口	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,石油,電子/電池,綜合

　格里爾斯質(zhì)量流量控制器工作原理：

　　氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司特別的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

注意:

　　質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣標(biāo)定.

　　質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準毫升/分); SLM (標(biāo)準升/分)

　　標(biāo)準狀態(tài)規(guī)定為: 溫度-----273.15K (0℃);

　　氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）

格里爾斯質(zhì)量流量控制器

　格里爾斯質(zhì)量流量控制器主要技術(shù)指標(biāo)

1	量程范圍	（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM 　　（0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM
2	準確度	±1%F.S ±0.5%F.S
3	線性	±0.5~1.5%F.S
4	重復(fù)精度	±0.2%F.S
5	響應(yīng)時間	電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
6	工作壓差	0.1~0.5MPa
7	耐壓	3MPa
8	工作環(huán)境溫度	0~70℃
9	數(shù)字量	RS485 MODBUS協(xié)議
10	模擬量	DC 0~5V ，4~20mA 可選
11	供電	DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
12	電氣連接	DB15
13	漏率	1×10\u001F-8SCCSHe
14	底座材質(zhì)	316L不銹鋼
15	密封材質(zhì)	氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
16	氣路接頭	Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

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